臭氧發生器是一種用來制造臭氧的裝置。臭氧易分解，不能儲存，需要現場配制和使用(特殊情況下可以短時間儲存)。因此，凡是能使用臭氧的地方，都要使用臭氧發生器。臭氧發生器廣泛應用于飲用水、工業氧化、食品保鮮、空間殺菌等領域。臭氧發生器產生的臭氧氣體可以直接使用，也可以通過混合裝置與液體混合參與反應。

臭氧發生器的殺菌機理和過程是一個自然過程。臭氧氧化并區分葡萄糖氧化酶，葡萄糖氧化酶是細菌外部葡萄糖氧化所必需的。臭氧可以直接作用于細菌和病毒，粉碎它們的細胞器，區分DNA、蛋清物質、脂類、多糖等大分子聚合物，粉碎細菌物質代謝的生產和繁殖過程。

因為臭氧的主要作用是消毒殺菌，所以臭氧濃度的控制就顯得尤為重要。那么臭氧發生器作為臭氧制備裝置應該如何控制臭氧的濃度呢？

隨著技術的不斷發展，臭氧濃度檢測的方法和儀器也在不斷變化。目前根據這些檢測方法開發生產的產品有很多，如臭氧傳感器、臭氧模擬輸出模塊、臭氧檢測儀等。

目前很多臭氧發生器都配備了臭氧檢測模塊，可以直觀的反映O3濃度。例如，美國SPEC Sensors空氣質量臭氧模擬輸出模塊-ULPSM-O3 968-005可快速將臭氧傳感器系統集成到您的系統中，并使用極低的功耗和簡單的模擬傳感器信號輸出。ULPSM將臭氧傳感器的線性電流信號輸出轉換為線性電壓信號，同時將傳感器保持在理想的偏置工作環境中。