1、臭氧滅菌為溶菌級方法，殺菌徹底，無殘留，殺菌廣譜，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等。

2、臭氧O3 對霉菌也有極強的殺滅作用。 O3由于穩定性差，很快會自行分解為氧氣或單個氧原子，而單個氧原子能自行結合成氧分子，不存在任何有毒殘留物，所以，臭氧O3是一種無污染的消毒劑。

3、臭氧O3為氣體，能迅速瀰漫到整個滅菌空間，滅菌無死角。

而傳統的滅菌消毒方法，無論是紫外線，還是化學熏蒸法，都有不徹底、有死角、工作量大、有殘留污染或有異味等缺點，并有可能損害人體健康。如用紫外線消毒，在光線照射不到的地方沒有效果，有衰退、穿透 力弱、使用壽命不長等缺點?；瘜W熏蒸法也存在不足之處，如對抗藥性很強的細菌和病毒，

則殺菌效果不明顯。