利用低溫等離子體降解有機(jī)廢氣、祛除異味、殺滅細(xì)菌、病毒、凈化空氣是國際上比較認(rèn)可的技術(shù)。 該技術(shù)的關(guān)鍵是通過高壓脈沖介質(zhì)阻擋放電的形式產(chǎn)生大量等離子體，將氣體激活，產(chǎn)生各種活性自由基，如OH、O、H、O3等，對(duì)甲醛、二甲苯等有毒有害氣體發(fā)生降解、氧化等復(fù)雜的物理和化學(xué)反應(yīng)，且副產(chǎn)物無毒，避免二次污染，并可對(duì)各種污染氣體進(jìn)行同時(shí)治理。    

根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果，并進(jìn)一步結(jié)合國外采用氧化法處理惡臭的數(shù)據(jù)，離子氧設(shè)備處理各種異味組分的機(jī)理和主要產(chǎn)物。以下是幾種主要臭氣的反應(yīng)機(jī)理：

NH3 + O2、O2-、O2+           NOx + H2O

H2S + O2、O2-、O2+           SO2 + H2O

CH3SH + O2、O2-、O2+         SO3 + CO2+ H2O

從上述反應(yīng)來看，以上惡臭組分經(jīng)過離子氧設(shè)備處理，將轉(zhuǎn)變?yōu)镹Ox、SO2、SO3、CO2、H2O等小分子，而且由于處理的異味氣體濃度較低，因此產(chǎn)物的濃度極低，均能被周邊的大氣所接受。