臭氧，又稱超氧或強氧，分子符號O3，英文名ozone；當它的濃度高時，它是淺藍色的。人類發現臭氧至今已有200多年，最早是在1785年。德國人范·馬魯姆發現，雷雨過后，空氣特別清新。因為它獨特的草味，他知道它的存在。到1840年，德國人朔爾拜因以臭氧命名。“臭氧”是指新鮮空氣。荷馬在《敖德薩》中寫道:“暴風雨來臨時，電閃雷鳴，空氣中彌漫著硫磺。”他指的是風暴產生的強烈氣味，這種氣味后來被稱為臭氧氣體。自臭氧被發現以來，歐洲的科學家率先研究了臭氧的特性和功能，并在發現其廣譜殺菌作用后，開始了工業化生產和應用。其中，一家瑞典牛肉公司使用臭氧來保持牛肉新鮮，這種方法從1870年就開始使用了。

19世紀，人們認識到臭氧的強氧化作用，發現臭氧對木材、秸稈、淀粉、植物色素、天然橡膠、脂肪、動植物油、酒精等都有氧化作用。1868年，德格貝斯獲得了第一項臭氧應用技術專利，利用臭氧將煤焦油混合物氧化成適合涂料和油漆的產品。1873年，歐洲將臭氧用于制糖和亞麻漂白。一百多年來，臭氧的應用已經滲透到許多領域，為人類生產技術的發展做出了巨大貢獻。臭氧的應用根據用途分為四個領域:水質處理、化學氧化、食品加工和保鮮、醫療。各個領域的應用研究和設備開發都達到了相當高的水平。世界上已經形成了獨立的臭氧技術產業和部門，1973年成立的國際臭氧協會(IOA)就設在加拿大。該協會每兩年召開一次國際會議，交流各國臭氧技術發展的論文和報告，發達國家普遍建立了IOA地區組織進行學術交流。

第二次世界大戰后，國際臭氧應用技術取得了很大進展。首先，1902年，德國帕德博恩建立了第一座大型臭氧水處理廠，開創了臭氧水處理的先河。現在，全球有數千座臭氧水廠，歐美、日本、加拿大等國家的自來水廠應用臭氧已達到普及水平。幾乎所有的礦泉水和純凈水生產廠家都配備了臭氧設備。20世紀70年代初，美國開始使用臭氧處理生活污水，主要目的是殺菌、去除污染物、脫色等，以達到排放標準。在日本，污水經過臭氧處理，在缺水地區用作再生水。近年來，美國、日本、德國、法國等國家都建立了大型臭氧污水處理廠。其次，臭氧的工業應用也很普遍，主要用于化工、石油、造紙、紡織、制藥和香料行業。食品工業的應用更加普及。1904年，歐洲使用臭氧來保存牛奶、肉制品、奶酪、蛋白質和其他食物。20世紀30年代末，美國80%的冷凍卵子庫安裝了臭氧發生器。第二次世界大戰后，歐洲、美國和日本在食品、水果和蔬菜的儲存、制造和運輸中使用臭氧。在醫療方面，臭氧在日本二戰時用于理療，在俄羅斯則用于運動人士。目前國際上有很多醫學應用，如病房和手術室的空氣消毒、臭氧水對醫療器械的消毒、臭氧治療牙病(口腔手術和保持口腔無菌)、臭氧和放療治療癌癥、臭氧水治療婦科疾病、臭氧氣體注射治療瘺管和靜脈曲張等。在保健方面，日本和臺灣省流行吸收強空氣(臭氧濃度低的空氣)強身健體，用臭氧水淋浴殺菌美容美體。現在流行的高科技美容其實就是臭氧的應用。

臭氧消毒技術是近年來引入食品加工行業的一項新的衛生消毒技術。隨著人們對它認識的深入，它逐漸被越來越多的應用。臭氧和臭氧水的消毒特性使其在某些食品生產環節具有替代現有紫外線和化學消毒方法的優勢。還可以解決一些食物無法加熱殺菌的問題，同時降低能耗。